您现在的位置是:综合 >>正文
重大突破!芯片光刻胶关键技术被攻克:原材料全部国产 配方全自主设计
综合24786人已围观
简介快科技10月25日消息,据华中科技大学官微消息,近日,该校武汉光电国家研究中心团队,在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍,其研发的T150A光刻胶系列产 ...
快科技10月25日消息,重大自主据华中科技大学官微消息,突破近日,芯片该校武汉光电国家研究中心团队,光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍,原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品,已通过半导体工艺量产验证,部国实现了原材料全部国产,产配配方全自主设计,重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示,芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料,用于芯片制造的胶关键技光刻环节,工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时,会在晶圆上涂上光刻胶,在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光,经过一系列处理后,晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料,国外企业对其原料和配方高度保密,目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优,其对刻蚀工艺表现更好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示:“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点,最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶,致力于突破国外卡脖子关键技术,为国内相关产业带来更多惊喜。”
Tags:
相关文章
无人超市会取代传统超市?业内人士:不至于
综合无人零售店来了!日前,阿里在杭州推出它的首家无人零售店。这个只需用户入门时在闸机上刷下手机,随后可“拿了就走”的小店,引起外界极大关注。此前,缤果盒子已进入这一领域,居然之家也将于本月中旬开 ...
【综合】
阅读更多台积电2nm试产成功:良品率仅有60% 明年芯片又要涨价
综合新酷产品第一时间免费试玩,还有众多优质达人分享独到生活经验,快来新浪众测,体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~!下载客户端还能获得专享福利哦!12月11日消息,据行业媒体报道,全球领先的芯片制造 ...
【综合】
阅读更多万科称四方面受股权之争影响 深铁重组股东仍有分歧
综合万科中期业绩会信息发布1 到目前为止,万科发行股份购买深铁资产预案还未在股东间达成共识。2 公司事业合伙人持股计划的最新持股比披露,“合伙人持股计划通过资产管理计划累计持股占公司总股本的4 ...
【综合】
阅读更多